就必 須更換新的減薄蝕刻液，造成資源浪費和環境污染。 因此，本研究提出一種不同于傳統玻璃減薄方法的 新工藝，用以 處 理 玻 璃，從 而 降 低 玻 璃 表 面 的 粗 糙 度，并減少其表面白色附著物的沉積，實 現 微 氟 減薄目的。分析天 平（ＴＤ５０００１ａ型），鄭 州 多 創 電 子 科 技 有限公司；紫 外－分 光 光 度 計（ＵＶ－５８００Ｈ 型），上 海 元析儀器有限公司；干燥箱（１０１－１型），北京中科路 建儀器設 備 有 限 公 司；數 控 恒 溫 磁 力 攪 拌 器（８５－２ 型），海梅穎浦儀器儀表制造有限公司；功率可調加 熱型超聲波清洗器（ＳＫ８２１０ＨＰ型），上海科導超聲 儀器有限公 司；表 面 粗 糙 度 測 量 儀（ＳＪ－２１０型），日 本三豐公司；生物顯微鏡（Ｍ３７０２Ｄｉｇｉｔａｌ－１０Ａ Ｘ４００ 型），廈門市麥克奧迪實業集團有限公司；手機面板 三點抗彎強度試驗機（ＰＴ－３０７），東莞市普賽特檢測 設備有限公司。

    超聲處理時間不同，玻璃表面 最終的粗糙度不同。在３０ｍｉｎ后，表面粗糙度隨超 聲時間的延長，有明顯上升的趨勢。這是因為超聲 時間小于３０ｍｉｎ時，超聲波的化學作用力能量不足 以使 ＨＦ和 ＨＦ－ ２ 與表面硅氧網絡結構發生減薄反 應；但是時間的進一步延長對粗糙度的增加沒有明 顯貢獻，此階段玻璃表面受到超聲波空化作用比較 充分，玻璃的減薄主要決定于 ＨＦ－ ２ 濃度。因此，玻 璃減薄的超聲時間控制在３０ｍｉｎ為宜。在相同超聲條件下，不同酸液的 加入對玻璃表面微晶的剝離有不同程度的影響，進 而影響減薄效果：其中硫酸對玻璃表面形貌影響較 大，表面形成大量剝離痕跡，減薄效果較強；鹽酸影 響較弱，經處理后，玻璃表面形成少量白色附著物； 而新型減薄液效果較好，減薄后玻璃基板上的晶粒 尺寸大小相近。