就必 須更換新的減薄蝕刻液，造成資源浪費(fèi)和環(huán)境污染。 因此，本研究提出一種不同于傳統(tǒng)玻璃減薄方法的 新工藝，用以 處 理 玻 璃，從 而 降 低 玻 璃 表 面 的 粗 糙 度，并減少其表面白色附著物的沉積，實(shí) 現(xiàn) 微 氟 減薄目的。分析天 平（ＴＤ５０００１ａ型），鄭 州 多 創(chuàng) 電 子 科 技 有限公司；紫 外－分 光 光 度 計(jì)（ＵＶ－５８００Ｈ 型），上 海 元析儀器有限公司；干燥箱（１０１－１型），北京中科路 建儀器設(shè) 備 有 限 公 司；數(shù) 控 恒 溫 磁 力 攪 拌 器（８５－２ 型），海梅穎浦儀器儀表制造有限公司；功率可調(diào)加 熱型超聲波清洗器（ＳＫ８２１０ＨＰ型），上海科導(dǎo)超聲 儀器有限公 司；表 面 粗 糙 度 測(cè) 量 儀（ＳＪ－２１０型），日 本三豐公司；生物顯微鏡（Ｍ３７０２Ｄｉｇｉｔａｌ－１０Ａ Ｘ４００ 型），廈門市麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司；手機(jī)面板 三點(diǎn)抗彎強(qiáng)度試驗(yàn)機(jī)（ＰＴ－３０７），東莞市普賽特檢測(cè) 設(shè)備有限公司。

    超聲處理時(shí)間不同，玻璃表面 最終的粗糙度不同。在３０ｍｉｎ后，表面粗糙度隨超 聲時(shí)間的延長(zhǎng)，有明顯上升的趨勢(shì)。這是因?yàn)槌? 時(shí)間小于３０ｍｉｎ時(shí)，超聲波的化學(xué)作用力能量不足 以使 ＨＦ和 ＨＦ－ ２ 與表面硅氧網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)發(fā)生減薄反 應(yīng)；但是時(shí)間的進(jìn)一步延長(zhǎng)對(duì)粗糙度的增加沒有明 顯貢獻(xiàn)，此階段玻璃表面受到超聲波空化作用比較 充分，玻璃的減薄主要決定于 ＨＦ－ ２ 濃度。因此，玻 璃減薄的超聲時(shí)間控制在３０ｍｉｎ為宜。在相同超聲條件下，不同酸液的 加入對(duì)玻璃表面微晶的剝離有不同程度的影響，進(jìn) 而影響減薄效果：其中硫酸對(duì)玻璃表面形貌影響較 大，表面形成大量剝離痕跡，減薄效果較強(qiáng)；鹽酸影 響較弱，經(jīng)處理后，玻璃表面形成少量白色附著物； 而新型減薄液效果較好，減薄后玻璃基板上的晶粒 尺寸大小相近。